真正可怕到了传说级的东西——因为它，你碰不到。

1930年鲁夫（Ruff）和克鲁克（Krag）首先用元素氟与氯直接化合制成了三氟化氯，并且报导过它的一些性质。当时，元素氟未能大规模生产，三氟化氟又被认为是一个反应极难控制的化合物，所以直到第二次世界大战德国开始生产三氟化氯作为纵火剂。战后学者们相继系统地研究了它的物理性质，阐明了它的分子结构，并且逐渐找到了控制其反应的方法，20世纪50年代测试过用它来做火箭燃料。目前利用其从辐射性燃料中回收铀元素。

现代应用方面

在电子工业中，三氟化氯因其独特的化学结构，化学活性倾向于氟却比氟温和许多，比氟碳化合物更为环保，其全球变暖潜能值（GWP）为零，被视为理想的化学汽相淀积（LPCVD）清洗气体。

在集成电路产业，因其高反应活性，常温下即可与固体残留物生成挥发性氟化硅化合物，用三氟化氯进行清洗是一种化学蚀刻过程，在相应的高压条件下，在材料供应充足的情况下，刻蚀去除率可达10 μm/min 以上，因此，就地清洗工艺得到了广泛的应用。

毒性

大鼠吸入实验结果说明：800ppm的三氟化氯在吸入染毒15分钟时老鼠致死，ClF3染毒的结果可致严重的黏膜炎症和皮肤灼伤，继以眼角膜溃烂。

储存

三氟化氯平时是装在经过内壁氟化处理后的金属容器里面的，这是目前能暂时控制它的工业方法，只要预先经过处理形成了金属氟化物保护层，它在一些常见金属制成的容器里面还可以保持安稳。

事故方面

据资料记载，当时人们把金属容器放在干冰浴中降温，这是为了让三氟化氯在低温下更稳定一些。然而低温也让金属容器壁变脆了，结果人们迎来了灾难性的一幕：907kg冰凉的液态三氟化氯泄漏了出来。这些三氟化氯不仅烧穿了30厘米厚的混凝土地板，而且还腐蚀了下方将近一米的砾石。当然，这过程还伴随着包括氯气、氟化氢在内的大量有毒蒸汽。

一位目击者惊呼：“混凝土都着火了！”

因为三氟化氯活泼的化学性质，任何接触它的设备都必须经过仔细的清洁以及保证气密性。不幸中的万幸，它会立刻和容器内壁反应生成不再参与反应的氟化物，从而我们可以方便地贮存。